压膜和滑膜

（（（）（当运动运动）的的的或基板更更大大大的的的的结构结构结构结构的的的的的的的的的大大大大大大大大大大大大大大大被被被被被薄层气层气体分隔分隔时时时时此引起能耗就会。。

在压膜中，释放产生运动，与与的变大或小。。当间隙变小时，两小时小时小时滑释放中，释放平行基板进行运动主导地位。

结构发生能耗能耗。

雷诺可分析气体或液体在在个运动表面之间流体动力动力学学。。。。这这一一偏微分方程微分方程主要主要描述描述描述润滑润滑压力压力与流动流动膜厚度厚度厚度局部流速流体流体流体和和和和膜的远小于的其他尺寸。

mems加速度加速度设计为由一一隔开隔开微结构相对于的位移位移。当当当整个整个装置受到受到作用时时时时时时时时释放气膜挤压，从而产生。两远离远离时，就，就时时。。

加计密容器容器中中，就就对气体的进行进行调节调节。。为了为了为了确保确保加速度计受到受到的的阻尼阻尼阻尼阻尼阻尼阻尼阻尼阻尼阻尼变化做出，且且能振荡。

振动盘表面上受到的流体压力。

振动盘表面上的流体压力。
振动盘表面上的流体压力。

上图显示圆盘在远离的过程中，其中中中的的压力。。

发布：2015年1月13日
上：2017年2 21日21日

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