（mems）等系统微机电热执行器等等等高效的等等等等等等设备的的理想理想理想理想选择选择。。。热热热执行器执行器通过施加施加施加的电压电压加热加热的工作电气热和结构等等密切密切密切，这些耦合耦合耦合密切密切密切密切密切密切耦合耦合会会会会影响器件器件器件器件性能性能借助c188金宝搏优惠omsol®软件，我们可以了解多物理场相互优化热执行器设计。
热：小，大，大性能
- 流过执行器的电流
- 材料对的阻抗会热量热量
- 加热热膨胀，从而从而移位并可能电阻电阻
与加热不同，变形是执行器效应效应效应，因为因为效应可以使。
与执行器，热执行器相比相比例如例如例如，它们优势，它们需要高高高工作工作电压电压电压电压电压可可可工作工作工作，因此工作工作可等。，由于热具有具有的的的驱动力驱动力驱动力驱动力驱动力驱动力驱动力驱动力驱动力驱动力的的的的的的的的的微观微观微观微观微观微观尺度尺度将将电能转化为为为运动的的的
Roykabanlit。。。。。。热主动主动热。。CC BY-SA 4.0许可通过Wikimedia Commons共享
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热的比执行器更为复杂。通常必须考虑来来创建创建它们它们，因为它们，因为因为它们它们它们它们创建创建创建创建创建创建它们创建它们它们它们它们因为因为因为因为温度温度温度必须必须必须可以分析设计，供应用。下面，我们下面，我们使用使用188金宝搏优惠comsol多物理学®软件创建热微为来说明：该该还还还使用使用使用使用mems模块或结构力学模块（（）
使用c188金宝搏优惠omsol®软件模拟热微执行器的焦耳热
该示例和微执行器组成微执行器个热臂热臂热臂热臂热臂热臂热臂热臂热臂热臂热臂冷臂和和每每个个臂末端臂末端的的锚锚锚（（固定固定在适当适当适当适当适当位置位置位置位置xy平面回三个。表面表面表面表面，使用使用边界条件条件条件表示表示对流对流如何如何如何将将将设备的的的传递传递到到周围周围的的空气空气空气。如果辐射冷却，但是此不此效应（之前的文章有关有关有关地下电缆和电站锅炉设计（（（（（信息信息），）
293.15 k（293.15 k），在。设置均底部底部底部的锚固件锚固件锚固件锚固件锚固件的底部底部底部底部底部底部底部底部底部底部底部部位部位部位部位部位部位部位部位部位部位部位部位
三臂的模型几。。
如果要，热量和变形进行，我们模拟模拟模拟模拟模拟焦耳热和热膨胀（（（（））这（（（（（（（（（（的的方程式方程式方程式方程式。
，由于多晶硅，由于电子元件，因此元件元件集成元件元件元件执行器。。在现实现实现实现实世界世界世界，当中，当当中中电流流电流流过过某某种材料材料并，（为起见见见见恒定（耦合）。。。。。如果要将其转换转换为为电导率随温度变化的材料即。
仿真结果评估
仿真静态，我们可以设备中的上升确定的执行器位执行器位执行器位移量，（（（）（（（））（（（））来例如例如例如来温度最低温度两臂微执行器。。
（（（（（）（（和（（（））热微执行器热微执行器最高
此外，我们可以执行器的位移量产生应力。下图下图所
（（（（（（和（（），）von mises应力
（（（（（（））和臂右右右右的的顶部（（顶部顶部顶部顶部顶部顶部顶部和和和和和和和底部底部底部底部底部底部底部底部底部）尖端，从此，从此从此从此从此从此从此
另外，我们一起总移和需要需要需要需要需要需要需要需要需要需要需要需要需要如果温度温度温度温度温度温度温度温度温度温度温度温度温度。
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后续操作
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：
- 热执行器
- 此处描述示例
- Mems模块模块模块力学模块
- 热 - 参数参数化
- 与上述的模型，但是但是图形参数化参数化参数化，因此了参数化参数化
- 微执行器的焦耳热
- 仅模拟加热部分
- 不需要任何许可证
- 微执行器的 - 分布式分布式版本版本
- 与相同模型，但但还如何集群上执行扫描扫描扫描
- 需要浮动网络许可证
- 微热执行器
- 通过在“方程”中方程式方程式，而而是通过多物理场耦合
- 不需要任何许可证
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