NIST GEC CCP电抗器提供了一种用于研究电容耦合等离子体的平台。由于在13.56MHz的正弦静电场,该应用研究了电力沉积到等离子体的机制。该应用程序演示了使用模态偏好表单来允许选择生成的报告的输出格式。
GEC CCP应用程序的屏幕截图,其中可以改变多个输入。