MEMS模块
多物理耦合以进行吸湿性肿胀
什么时候固体力学与其中之一稀释物种的运输或者在多孔介质中运输稀释的物种接口，一种新的多物理耦合称为吸湿性肿胀被建造。它具有与吸湿性肿胀材料模型节点的子节点。使用这种新的多物理耦合，您可以转移一定的水分，计算在稀释物种的运输或者在多孔介质中运输稀释的物种界面，进入吸湿性肿胀菌株。
由于吸湿性肿胀，MEMS压力传感器中的水分浓度和变形。（此处显示的特定示例除了吸湿性肿胀功能外，还使用了Shell界面。壳接口可与结构力学模块一起使用。）
由于吸湿性肿胀，MEMS压力传感器中的水分浓度和变形。（此处显示的特定示例除了吸湿性肿胀功能外，还使用了Shell界面。壳接口可与结构力学模块一起使用。）
薄膜流的穿孔功能
可用于薄膜阻尼的新穿孔功能，从而实现具有蚀刻孔的结构中的薄膜流量的建模。
穿孔功能充当气体的水槽，与环境压力和压力差相对于穿孔表面另一侧的环境压力成正比。比例的常数被称为穿孔允许（Y），可以直接定义或根据BAO确定模型（M. Bao和H. Yang“挤压膜中的膜在MEMS中挤压膜防潮”，传感器和执行器A：物理，第136卷，第1、3-27号，2014年）。
带有BAO模型的穿孔设置窗口用于穿孔式入口。
带有BAO模型的穿孔设置窗口用于穿孔式入口。
边界流量边界条件的平面运动选项
可以使用新的选项边界流薄膜流的边界条件。选择平面运动为了边界流动类型使用Gallis和Torczynski的模型计算边界处的压力梯度（M. A. Gallis和J. R. Torczynski，“改进的微动运动气体阻尼的雷诺平衡模型”，《微机械系统杂志》，第13卷，第653页，第653页，第653页。-659，2004）。该模型已被证明与详细的CFD和Monte Carlo模拟非常吻合，该模拟对薄膜流动域和周围气体进行了模拟。该模型适用于稀疏和非稀疏流量，高达大约一个。
点矩阵评估功能可以在某个点显示张量
新的点矩阵评估功能（基本软件包中可用）可以在某个点上方便地显示张量的数量。这对于压电设备界面，该界面定义了本地和全局坐标系中的张量材料属性。因此，现在可以查看全局和本地系统中的弹性矩阵。
新教程：微泵机制
微型聚集是微流体系统的关键组成部分，其应用从生物流体处理到微电冷却。该教程模拟了一个阀门微泵的机制，该机制旨在在低雷诺数下有效，从而克服了流体动力的可逆性。阀门泵通常在微浮力系统中首选，因为它们可以最大程度地减少堵塞的风险，并且对生物材料柔和。这流体结构相互作用界面用于求解流体的流动和结构的相关变形。另外，全球ODES和DAE界面用于演示如何在整个泵送周期内执行总流量的时间分辨积分。
流体流量和von mises应力在一个被动微流体流整流系统中。泵送机构正在从水平通道中吸收流体进入垂直轴。该通道包含两个倾斜的皮瓣，通过弯曲来响应流体流。在这种情况下，当将流体吸引到垂直通道中时，襟翼的不对称弯曲导致左侧通道的流量要比右通道的流动要大得多。
流体流量和von mises应力在一个被动微流体流整流系统中。泵送机构正在从水平通道中吸收流体进入垂直轴。该通道包含两个倾斜的皮瓣，通过弯曲来响应流体流。在这种情况下，当将流体吸引到垂直通道中时，襟翼的不对称弯曲导致左侧通道的流量要比右通道的流动要大得多。
新教程：压电速率陀螺仪
在此教程示例中分析了基于调整的叉子的压电速率陀螺仪，该示例使用压电设备界面。直接的压电效应用于驱动平面内调谐叉模式，该模式与Coriolis力耦合到平面外模式，并通过反向压电效应来感知所得的平面外运动。调谐叉的几何形状旨在确保附近模式的特征频率在频率空间中分开。计算系统的频率响应，并评估旋转速率灵敏度。
驱动模式（左）和感官模式（右）用于压电速率陀螺仪。两种模式与科里奥利力耦合在一起。
驱动模式（左）和感官模式（右）用于压电速率陀螺仪。两种模式与科里奥利力耦合在一起。
新教程：压电能量收割机
本教程显示了如何使用该简单的基于悬臂的压电能量收割机压电设备界面。正弦加速度应用于能量收割机，并根据频率，负载阻抗和加速度幅度评估输出功率。
输入机械功率，输出电力和电压与负载阻抗的关系。
输入机械功率，输出电力和电压与负载阻抗的关系。
新教程：压电阀
压电阀由于其快速响应时间和安静的操作，经常在医疗和实验室应用中使用。他们的节能操作消散了很少的热量，这对于这些应用通常很重要。
在本教程中，一个压电阀由堆叠的压电执行器驱动。为了建模，压电设备接口与接触特征。高弹性密封被执行器压缩在阀门上，并计算接触压力。
冯·米塞斯（Von Mises）在压电阀表面上应力。
冯·米塞斯（Von Mises）在压电阀表面上应力。
新教程：圆盘谐振器锚损失
本教程显示了如何使用钻石圆盘谐振器的锚定损耗有限的质量因子固体力学界面。谐振器由多核柱固定在底物上，并通过柱传输到基板的功率。完美匹配的层用于表示本质上是无限的底物。该教程基于在Grenoble的Comsol会议上发表的一篇论文（P. Steeneken“ MEMS188金宝搏优惠共振器中的参数提取和支持损失”，Comsol用户2007年Comsol用户会议，Grenoble）。
以颜色尺度显示的结构的总位移，使锚固损失清晰可见。
以颜色尺度显示的结构的总位移，使锚固损失清晰可见。