188金宝搏优惠COMSOL Multiphysics.^®5.3发布亮点

等离子体模块更新

对于等离子体模块的用户，COMSOL Multiphysics188金宝搏优惠^®版本5.3带来了一个新的全球的扩散模型以测试复杂的反应化学品，一种近似高压系统平均电子能源的选择，以及几种新的教程模型。浏览下面等离子模块中的其余新功能和教程模型。

新应用：Boltzmann DC发光放电

本申请模拟了DC辉光放电。使用电子能量分配功能（EEDF）和电子传输性能Boltzmann方程，两个近似界面。由于输入参数Boltzmann方程，两个近似界面，如等离子体的电离程度，尚不清楚先验，执行迭代过程。交替计算Boltzmann研究和等离子体研究，直到电子密度的偏差低于用户定义的值。结果，可以检查几何形状的每个点处的EEDF。

应用库路径：
plasma_module / applications / boltzmann_dc_discharge

血浆过程初次分析的全局建模

促进您对等离子体过程的建模，一个新的全球的扩散模型现在，您可以在用更准确的建模优化它们之前对过程进行初始分析。通过将普通的微分方程应用于等离子体模型，全球建模可降低模型的自由度。这允许在运行空间依赖模型之前进行测试和验证复杂的反应化学品，而反应器几何形状，表面化学和进料流仍然存在。要启用全局建模，请选择全球的选项来自扩散模型下拉菜单，然后在可用的反应堆类型之间进行选择：

• 封闭式反应堆
• 恒定
• 恒压

应用库库路径显示全局建模：
plasma_module / global_discharges / chorline_global_model

本地字段近似

由于计算平均电子能量，大气压放电往往是数值不稳定的。现在，您可以避免通过使用的方式计算平均电子能量本地字段近似选项。然后，传输属性和源系数变为缩减电场的函数，其是用户定义的。当绘制飘带和Coronas时，该近似适用于高压。

应用库图书馆路径显示使用本地字段近似：
plasma_module / direct_current_discharges / corona_discharge_air_1d
plasma_module / direct_current_discharges / streemer_1d

自动计算电子移动性

在指定电子移动性时等离子体模型设置窗口，您现在可以从电子冲击反应列表中自动计算的传输属性。

应用程序库路径，用于使用的例子从电子碰撞反应选项：
plasma_module / direct_current_discharges / argon_dbd_1d
Plasma_module / Incuctily_coupled_plasmas / Electrodeless_lamp

单位支持表中的表格等离子体界面

现在可以在等离子体接口中将数据的两个列中的数据更改为。单位现在提供以下功能。

电子冲击反应

• 什么时候使用。使用设定为横截面数据，一张桌子电子能源和碰撞截面数据可用
• 什么时候使用。使用设定为使用查找表和速率常量形式设定为速率系数，一张桌子平均电子能量和速率系数数据可用
• 什么时候使用。使用设定为使用查找表和速率常量形式设定为Townsend系数，一张桌子平均电子能量和Townsend系数数据可用

物种

• 当。。。的时候物种是一个离子和移动性和扩散性表达式设置为指定移动性，计算扩散率，那么离子流动性可以在方面指定电场
• 当。。。的时候物种是一个离子和移动性和扩散性表达式设置为指定移动性，计算扩散率，那么离子流动性可以在方面指定减少电场

等离子体模型

当接口属性使用减少的电子传输性能是无效的，何时电子传输特性设定为使用查找表，然后有四个表可用于：

• 电子机动性，它有两列平均电子能量和电子机动性
• 电子扩散率，它有两列平均电子能量和电子扩散率
• 电子能量扩散率，它有两列平均电子能量和电子能量扩散率
• 电子能量移动，它有两列平均电子能量和电子能量移动

当接口属性使用减少的电子传输性能是活跃的，何时电子传输特性设定为使用查找表，然后有四个表可用于：

• 减少电子移动性，它有两列平均电子能量和减少电子移动性
• 减少电子扩散率，它有两列平均电子能量和减少电子扩散率
• 减少电子能量扩散率，它有两列平均电子能量和减少电子能量扩散率
• 减少电子能源移动性，它有两列平均电子能量和减少电子能源移动性

额外的离子移动模型

两个新型号可用于计算离子移动性。Dalgarno模型需要规格的离子极化性，并且当电场低时（离子漂移速度小于离子热速度）有效。当离子漂移速度远大于热速度时，高场模型有效。

新教程模型：空气中大气压电晕

本辅导模型提出了在大气压下在干燥空气中的同轴直流电晕放电的研究。尺寸和操作条件类似于静电除尘器中的静电除尘器中的构造。内线电极具有100mm半径，电极之间的间隙为10cm。

该模型在漂移扩散近似下解决了电子和离子连续性和动量方程，与泊松等式相结合。使用局部场近似，这意味着假设通过缩小的电场参数化的传输和源系数。

所提出的模拟是用于稳态的制度，在外部电极接地时施加到内部电极的持续放电和10的kV。重点放在带电粒子的创建和运输上以及如何转化为放电的电流电压特性。

应用库路径：
plasma_module / direct_current_discharges / corona_discharge_air_1d

新教程模型：1D中氮气中的负圈

飘带是瞬态丝状电放电，其在存在强烈的电场的情况下可以在非导电背景中发展。这些放电可以获得高电子数密度，因此，具有对许多应用相关的高浓度的化学活性物质。工业应用包括臭氧生产，污染控制和表面处理。

炉子的传播由非常非线性动力学驱动，其涉及在非常薄的层中分布的非常陡峭的密度梯度和高空穴密度。本辅导模型在-100kV / cm的恒定电场中提出了在大气压氮中的负飘带的研究。该模型是一维的，并且描述了在未受干扰的电场中的电子生长中的初始电子种子的瞬态行为，以闻到流动传播。

应用库路径：
plasma_module / direct_current_discharges / streemer_1d

新教程模型：氯气排放

含氯的等离子体放电通常用于蚀刻微电子制造中的半导体和金属。

本辅导模型使用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电。这些可以在空间依赖模型中的一小部分中运行模拟。这使得它们能够研究大型反应集和扩展参数区域的良好选择。

氯排放模型探讨了50至600W的吸收功率，使用1至100 mtorr的压力。若干相关量的模型结果如电子密度，电子温度和原子氯密度与在文献中发现的电感耦合等离子体反应器中的测量很好。

应用库路径：
plasma_module / global_discharges / chorline_global_model

新教程模型：表面化学

表面化学通常是反应流动建模的忽略方面。本教程模型显示了如何添加表面反应和物种以研究化学气相沉积等方法（CVD）。然后，教程在晶片上模拟硅生长。

最初，该示例使用全局模型来研究具有复杂化学的广泛参数区域。然后，设置并运行空间依赖的模型。探讨了系统中的整体质量平衡，仔细注意力探讨了大规模平均速度和扩散速度之间的差异。该模型表明系统中的总质量和摩尔浓度是保守的。最后，将沉积硅的高度作为时间的函数进行研究。

应用库路径：
plasma_module / chemical_vapor_deposition / surface_chemisty_tutorial

新教程模型：微波微波

在微尺度放电隙中持续的等离子体能够以高电子数密度（1E20m ^ -3）和功率密度（1E9W / m ^ 3）在高压（1atm）下操作，同时保持相对冷的重质粒子温度。本辅导模型模拟了在微波范围内通过时变电激励持续的大气压氩等离子。该模型在所施加的场的方向上是一维的，并描述了等离子体的几种宏观性质的空间和时间演变。

应用库路径：
plasma_module / probalylive_coupled_plasmas / microowave_microplasma