使用离散电子模型研究平面溅射磁子中的靶标侵蚀
出版于2013
ComsolMultiphysics®实施了用于预测平面溅射磁子中相对离子轰击通量和靶标侵蚀的离散模型。188金宝搏优惠在物理蒸气沉积(PVD)过程中使用平面磁控蛋白,以在各种类型的底物上形成薄膜沉积。所提出的模型描绘了低压直流电流(DC)气体排放中的能量电子的轨迹,该轨迹受到了涉及的静态电磁场的力,并与中性物发生碰撞。离子轰击通量和靶标侵蚀的相对分布是通过将电离碰撞对目标表面的汇总和投影获得的。采用了基于一系列连续瞬态分析的迭代方案。该模型可以解决典型的侵蚀曲线和特征特征,例如跨角效应。
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