使用离散电子模型研究平面溅射磁子中的靶标侵蚀

C. Feist [1],A。Plankensteiner [2],J。Winkler [2]
[1] Cenumerics,因斯布鲁克,奥地利
[2] Plansee SE,奥地利路透社
出版于2013

ComsolMultiphysics®实施了用于预测平面溅射磁子中相对离子轰击通量和靶标侵蚀​​的离散模型。188金宝搏优惠在物理蒸气沉积(PVD)过程中使用平面磁控蛋白,以在各种类型的底物上形成薄膜沉积。所提出的模型描绘了低压直流电流(DC)气体排放中的能量电子的轨迹,该轨迹受到了涉及的静态电磁场的力,并与中性物发生碰撞。离子轰击通量和靶标侵蚀​​的相对分布是通过将电离碰撞对目标表面的汇总和投影获得的。采用了基于一系列连续瞬态分析的迭代方案。该模型可以解决典型的侵蚀曲线和特征特征,例如跨角效应。