用COMSOLMULTICHYSICS®建模MEMS陀螺仪188金宝搏优惠

詹姆斯·兰斯利1,Nagi Elabbasi2
1非常工程
2Unemst Engineering,美国马萨诸塞州Needham,美国
出版于2020

由于设备中存在的可变长度尺度(通常为1000:1),因此MEMS陀螺仪通常对模型具有挑战性,并且因为设备本身对环境和制造过程都高度敏感,引起了与理想几何形状的偏差。在本文中,我们研究了模拟MEMS陀螺仪的各种技术,例如,基于早期的Draper陀螺仪设计的简单1轴设备的示例[1]。

为了建模陀螺仪的梳子驱动器的静电致动,我们采用了基于方程式的非线性力,该力取决于梳子法规和转子的相对位置。我们将Coms188金宝搏优惠olMultiphysics®的Genext()运算符与结构力学界面结合使用,以已证明具有较大设备可扩展的方式实现这些力。在此案例研究中,我们为梳子力使用相对粗略的模型,但我们讨论了潜在的改进。然后,我们查看ComsolMultiphysics®的188金宝搏优惠变形几何界面的使用来建模各种制造缺陷对设备的影响:专注于侧壁角的效果。变形的几何界面允许在模型中捕获复杂的制造变化(例如,在空间上变化),重要的是,使用相同的网格用于理想设备和具有感兴趣缺陷的设备可以进行准确的评估。微小变化对性能的影响。最后,我们考虑了外部环境因素对设备性能的影响:以底物为圆柱形形状的形式为例(这旨在作为导致底物变形的热应力或机械应力的代理)。

本文提供的示例可在ComsolMultiphysics®5.6模型库[2]中进行进一步审查。188金宝搏优惠作者要确认Chien Liu提供有用的反馈,并为ComsolMultiphysics®5.6模型库示例做准备。188金宝搏优惠