3D偏置谐振器:固定,特征频率,频域和引进分析

申请ID:11748


在时间和频域中模拟了静电驱动的MEMS谐振器。该设备由在平行板电容器上施加的AC + DC偏置电压驱动。评估谐振频率对DC偏置的依赖性,并进行频域和瞬态分析以研究设备性能。

此模型示例说明了这种类型的应用程序,该应用程序名义上使用以下产品构建: