压电MEMS扬声器

应用ID:78021


该模型分析了一个压电微电机械系统(MEMS)扬声器。由四个三角形膜组成的扬声器使用一层锆酸钛酸铅(PZT)材料,在硅层顶部用作执行器。三角形膜被狭窄的空气间隙隔开,使膜的偏转更大。间隙中的热丢失损失限制了气流,从而使四个执行器能够表现为单个膜。

此模型示例说明了这种类型的应用程序,该应用程序名义上使用以下产品构建: