喷泉流动对旋转晶片上电沉积的影响
应用ID：13865
此示例通过包括电解质中铜离子的扩散和对流，扩展了模型电沉积中的分析。
耦合的质量传输对流扩散效应在这种类型的反应器中引起了人们的关注，因为它们会朝晶圆的边缘加出来，从而限制了电流密度。这将抵消由于晶片中电流传导效应，因此在轮辋上最高的激活过电势。通过反应堆的设计，可以优化质量传输和激活电位效应之间的关系，以使晶圆上的电流分布更加均匀。
此模型示例说明了这种类型的应用程序，该应用程序名义上使用以下产品构建：
但是，可能需要其他产品来完全定义和建模。此外，也可以使用以下产品组合中的组件来定义和建模此示例：
- 188金宝搏优惠comsol多物理学®和
- 要么CFD模块， 或者微流体模块和
- 要么电池设计模块，，，，腐蚀模块，，，，电化学模块，，，，电沉积模块， 或者燃料电池和电解盘模块
comsol的组合188金宝搏优惠®建模应用所需的产品取决于几个因素，可能包括边界条件，材料属性，物理界面和部分库。特定功能可能是几种产品的共同点。要确定适合您的建模需求的产品组合，请查看规格图并使用免费评估许可证。这188金宝搏优惠comsol销售和支持团队可用于回答您对此可能遇到的任何问题。