电气沉积在电阻图案化的晶圆上
应用ID:12361
该示例模拟了cupplater反应器中电阻晶片上的时间依赖性铜沉积。随着沉积层的积累,沉积层的电阻损耗减小。证明了使用当前小偷进行更均匀的沉积物的好处。
此模型示例说明了这种类型的应用程序,该应用程序名义上使用以下产品构建:
但是,可能需要其他产品来完全定义和建模。此外,也可以使用以下产品组合中的组件来定义和建模此示例:
comsol的组合188金宝搏优惠®建模应用所需的产品取决于几个因素,可能包括边界条件,材料属性,物理界面和部分库。特定功能可能是几种产品的共同点。要确定适合您的建模需求的产品组合,请查看规格图并使用免费评估许可证。这188金宝搏优惠comsol销售和支持团队可用于回答您对此可能遇到的任何问题。