电气沉积在电阻图案化的晶圆上

应用ID:12361


该示例模拟了cupplater反应器中电阻晶片上的时间依赖性铜沉积。随着沉积层的积累,沉积层的电阻损耗减小。证明了使用当前小偷进行更均匀的沉积物的好处。

此模型示例说明了这种类型的应用程序,该应用程序名义上使用以下产品构建: